產品應用 微型傳感頭型分光干涉式 激光位移計 SI-F 系列

微型傳感頭可用于測量硅晶片等精密物體的厚度和翹曲度。

• [優點] 超高分辨率
  0.25 μm 的分辨率
• 多功能控制器
  算術運算電路將測量數據即時轉換為厚度
• 不發熱
  傳感頭中沒有電子部件，不會產生熱量

微型傳感頭可用于測量復印機等精密機械中的各個部件的動作。

• [優點] ?2 mm 微型傳感頭
  無需預留安裝位置
• 最高可承受 85°C
  即使緊靠發熱的機身也能進行測量
• 5 kHz 高速采樣
  即使是高速工件也可安全地測量

微型傳感頭可用于檢測載物臺停止的位置，因此可將實際值與參考值的差值反饋給相關設備。

• [優點] 10 mm 以上的設定距離
  無碰撞危險
• 最多 6 軸同時測量
  實現無時間誤差的多軸控制
• ?8 mm 小型傳感頭
  無需預留安裝位置

微型傳感頭可用于測量各種要求精確測量的輥（例如膠輥）的偏轉。

• [優點] 對工件無傷害
  非接觸測量方式避免損傷工件
• 直接表示偏轉度
  控制器即時算出并顯示偏轉度
• 5 kHz 高速采樣
  可緊跟高速旋轉的工件

微型傳感頭可用于測量曝光掩模和玻璃基板的間隙。

• [優點] 80 mm 的設定距離
  即使掩模較厚亦可安裝微型傳感頭
• ?12 mm 小型傳感頭
  無需預留安裝位置
• 不發熱
  傳感頭中沒有電子部件，不會產生熱量

微型傳感頭可用于測量玻璃盤等光學透明物體的厚度。

• [優點] 超高分辨率
  0.25 μm 的分辨率
• 5 kHz 高速采樣
  可測量高速旋轉的工件的厚度
• 最多 6 軸同時測量
  實現無時間誤差的多軸控制